Проектот Chip MBE завршен во изминатите години

Технологија

Епитаксијата со молекуларни зраци, или MBE, е нова техника за одгледување висококвалитетни тенки филмови од кристали на кристални подлоги.Во услови на ултра висок вакуум, шпоретот за греење е опремен со сите видови потребни компоненти и генерира пареа, преку дупките формирани по коламирање на атомскиот или молекуларниот зрак, директно вбризгување до соодветната температура на еднокристалната подлога, контролирајќи го молекуларниот зрак до скенирањето на подлогата во исто време, може да направи молекулите или атомите во кристално усогласени слоеви да формираат тенок филм на подлогата „раст“.

За нормално функционирање на опремата MBE, потребна е висока чистота, низок притисок и ултра-чист течен азот да се транспортира континуирано и стабилно до комората за ладење на опремата.Во принцип, резервоарот што обезбедува течен азот има излезен притисок помеѓу 0,3 MPa и 0,8 MPa. Течниот азот на -196 ℃ лесно се испарува во азот за време на транспортот на гасоводот.Откако течниот азот со сооднос гас-течност од околу 1:700 ќе се гасифицира во цевководот, тој ќе зафаќа голема количина на простор за проток на течен азот и ќе го намали нормалниот проток на крајот од цевководот за течен азот.Дополнително, во резервоарот за складирање на течен азот, најверојатно ќе има остатоци што не се исчистени.Во цевководот за течен азот, постоењето на влажен воздух ќе доведе и до создавање на ледена згура.Ако овие нечистотии се испуштаат во опремата, тоа ќе предизвика непредвидливо оштетување на опремата.

Затоа, течниот азот во резервоарот за складирање на отворено се транспортира до опремата MBE во работилницата без прашина со висока ефикасност, стабилност и чиста, а низок притисок, без азот, без нечистотии, 24 часа непрекинато, таков систем за контрола на транспортот е квалификуван производ.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Соодветна MBE опрема

Од 2005 година, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) го оптимизира и подобрува овој систем и соработува со меѓународните производители на опрема MBE.Производителите на опрема MBE, вклучително и DCA, REBER, имаат кооперативни односи со нашата компанија.Производителите на опрема MBE, вклучувајќи ги DCA и REBER, соработуваа во голем број проекти.

Riber SA е водечки глобален снабдувач на производи за молекуларна епитаксија на зрак (MBE) и сродни услуги за истражување на сложени полупроводници и индустриски апликации.Уредот Riber MBE може да таложи многу тенки слоеви материјал на подлогата, со многу високи контроли.Вакуумската опрема на HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) е опремена со Riber SA Најголемата опрема е Riber 6000, а најмалата е Compact 21. Таа е во добра состојба и е препознаена од клиентите.

DCA е водечки светски оксид MBE.Од 1993 година, се спроведува систематски развој на техники на оксидација, загревање на антиоксидантната подлога и антиоксидантни извори.Поради оваа причина, многу водечки лаборатории ја избраа технологијата на DCA оксид.Композитни полупроводнички MBE системи се користат низ целиот свет.Системот за циркулација на течен азот VJ на HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) и опремата MBE на повеќе модели на DCA имаат соодветно искуство во многу проекти, како што се моделот P600, R450, SGC800 итн.

tcm (2)

Табела за изведба

Шангајски институт за техничка физика, Кинеска академија на науките
11. Институт за кинеска електронска технолошка корпорација
Институт за полупроводници, Кинеска академија на науките
Huawei
Академија Алибаба ДАМО
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Време на објавување: мај-26-2021 година