Системите за ладење со течен азот се широко користени во индустријата за полупроводници и чипови, вклучувајќи го и процесот на,
- Технологијата на молекуларна епитаксија на зрак (MBE)
- Тест на чипот по пакетот COB
Поврзани производи
Серија на цевки со вакуум изолација
Серија флексибилни црева со вакуум изолација
Систем за динамична вакуумска пумпа
Серија на фазни сепаратори со вакуум изолација
Серија вентили со вакуум изолација
Опрема за поддршка на системот за цевки
ЕПИТАКСИЈА НА МОЛЕКУЛАРЕН ЗРАК
Технологијата на молекуларна епитаксија на зрак (MBE) беше развиена во 1950-тите за да се подготват полупроводнички материјали со тенок филм користејќи технологија на испарување на вакуум.Со развојот на технологијата за ултра-висок вакуум, примената на технологијата е проширена на полето на науката за полупроводници.
HL ја забележа побарувачката на MBE систем за ладење со течен азот, организиран технички столб за успешно развивање на специјален MBE систем за ладење со течен азот за MBE технологија и комплетен сет на цевководни системи со вакуум изолација, кој се користи во многу претпријатија, универзитети и истражувачки институти .
Вообичаените проблеми на индустријата за полупроводници и чипови вклучуваат:
- Притисокот на течниот азот во терминалната (MBE) опрема.Спречете преоптоварување под притисок од оштетување на терминалната (MBE) опрема.
- Повеќекратни криогени контроли за влез и излез на течност
- Температурата на течниот азот во терминалната опрема
- Разумна количина на емисии на криогени гасови
- (Автоматско) префрлување на главни и гранки линии
- Прилагодување на притисокот (намалување) и стабилност на ВИП
- Чистење на можните нечистотии и остатоци од мраз од резервоарот
- Време на полнење на терминалната течна опрема
- Предладење на цевководот
- Отпорност на течност во VIP систем
- Контролирајте ја загубата на течен азот за време на неконтинуирано сервисирање на системот
Цевката со вакуум изолација (VIP) на HL е стандардно изградена според кодот за цевководи под притисок ASME B31.3.Инженерско искуство и способност за контрола на квалитетот за да се обезбеди ефикасност и исплатливост на фабриката на купувачот.
РЕШЕНИЈА
HL Cryogenic Equipment им обезбедува на клиентите систем за цевки со вакуум изолација за да ги исполни барањата и условите на индустријата за полупроводници и чипови:
1.Систем за управување со квалитет: ASME B31.3 Код за цевководи под притисок.
2. Специјален сепаратор за фаза со повеќекратен криоген влез и излез на течност со функција за автоматска контрола ги задоволува барањата за емисија на гас, рециклиран течен азот и температура на течен азот.
3. Соодветниот и навремен дизајн на издувните гасови гарантира дека терминалната опрема секогаш работи во рамките на дизајнираната вредност на притисокот.
4. Гас-течната бариера е поставена во вертикалната VI цевка на крајот од VI цевковод.Гас-течната бариера го користи принципот на гасна заптивка за да ја блокира топлината од крајот на цевководот VI во цевководот VI и ефикасно да ја намали загубата на течен азот за време на неконтинуирано и наизменично сервисирање на системот.
5.VI Цевководи контролирани од серијата вакуумски изолирани вентили (VIV): Вклучувајќи вакуумски изолиран (пневматски) затворачки вентил, вакуумски изолиран обратен вентил, регулациски вентил со вакуум изолација итн. потребно.VIV е интегриран со VIP префабрикат кај производителот, без изолирана обработка на лице место.Единицата за заптивки на VIV може лесно да се замени.(HL го прифаќа брендот на криогени вентили назначени од клиентите, а потоа прави вентили со вакуум изолација од HL. Некои марки и модели на вентили можеби нема да можат да се направат во вентили со вакуум изолација.)
6. Чистота, доколку има дополнителни барања за чистота на површината на внатрешната цевка.Се предлага клиентите да изберат цевки од не'рѓосувачки челик BA или EP како ВИП внатрешни цевки за дополнително да го намалат истурањето од нерѓосувачки челик.
7.Вакумски изолиран филтер: Исчистете ги можните нечистотии и остатоци од мраз од резервоарот.
8. По неколку дена или подолго исклучување или одржување, многу е неопходно претходно да се излади VI цевководот и терминалната опрема пред да се внесе криогена течност, за да се избегне ледена згура откако криогената течност директно ќе влезе во цевководот VI и терминалната опрема.Во дизајнот треба да се земе предвид функцијата на предладење.Обезбедува подобра заштита за терминалната опрема и опремата за поддршка на VI Piping, како што се вентилите.
9.Suit и за динамичен и за статички вакуум изолиран (флексибилен) систем за цевки.
10. Динамички вакуумски изолиран (флексибилен) систем за цевки: Се состои од VI флексибилни црева и/или VI цевки, црева за скокачи, вакуумски изолиран систем на вентили, сепаратори на фази и систем за динамична вакуумска пумпа (вклучувајќи вакуумски пумпи, електромагнетни вентили и вакуумски мерачи итн. ).Должината на едно флексибилно црево VI може да се прилагоди според барањата на корисникот.
11.Различни типови на поврзување: Може да се изберат тип на поврзување со вакуум бајонет (VBC) и заварено поврзување.На типот VBC не им е потребен третман со изолација на лице место.