Технологија
Епитаксијата на молекуларниот зрак, или МБЕ, е нова техника за одгледување висококвалитетни тенки филмови на кристали на кристални подлоги. Во ултра-високи вакуумски услови, со шпоретот за греење е опремена со сите видови на потребни компоненти и генерира пареа, преку дупки формирани по атомски или молекуларен зрак на зракот, директно вбризгување на соодветната температура на единечна кристална подлога, контролирајќи го молекуларниот зрак до Скенирањето на подлогата во исто време, може да ги направи молекулите или атомите во слоевите за усогласување на кристалот за да формираат тенок филм на подлогата „раст“.
За нормална работа на MBE опрема, висока чистота, низок притисок и ултра чиста течна азот се бара да биде континуирано и стабилно транспортиран во комората за ладење на опремата. Во принцип, резервоарот што обезбедува течен азот има излезен притисок помеѓу 0,3MPa и 0,8MPa.liquid азот на -196 ℃ лесно се испарува во азот за време на транспортот на гасоводот. Откако течниот азот со сооднос на гас-течност од околу 1: 700 е гасифициран во гасоводот, тој ќе заземе голема количина на течен простор на проток на азот и ќе го намали нормалниот проток на крајот на течниот азот на гасоводот. Покрај тоа, во резервоарот за складирање на течен азот, веројатно ќе има остатоци што не се исчистени. Во течниот гасовод на азот, постоењето на влажен воздух ќе доведе до создавање на мраз згура. Доколку овие нечистотии се испуштаат во опремата, тоа ќе предизвика непредвидливо оштетување на опремата.
Затоа, течниот азот во резервоарот за складирање на отворено се транспортира до опремата MBE во работилницата без прашина со висока ефикасност, стабилност и чиста, а нискиот притисок, без азот, без нечистотии, 24 часа непрекинато, таков систем за контрола на транспортот е систем за контрола на транспортот е квалификуван производ.



Совпаѓање на MBE опрема
Од 2005 година, HL криогената опрема (HL CRYO) го оптимизира и подобрува овој систем и соработува со меѓународните производители на опрема MBE. Производителите на опрема MBE, вклучително и DCA, Reber, имаат кооперативни односи со нашата компанија. Производителите на опрема MBE, вклучително и DCA и Reber, соработуваа во голем број на проекти.
Riber SA е водечки глобален снабдувач на производи за епитакси на молекуларен зрак (MBE) и сродни услуги за сложено истражување на полупроводници и индустриски апликации. Уредот Riber MBE може да депонира многу тенки слоеви на материјал на подлогата, со многу високи контроли. Вакуумската опрема на HL криогената опрема (HL Cryo) е опремена со Riber SA Најголемата опрема е Riber 6000 и најмала е компактен 21. Таа е во добра состојба и е препознаена од клиенти.
DCA е водечки светски оксид МБЕ. Од 1993 година, спроведен е систематски развој на техники на оксидација, спроведен е антиоксидантно греење на подлогата и антиоксидантни извори. Поради оваа причина, многу водечки лаборатории избраа технологија за DCA оксид. Композитни полупроводници MBE системите се користат низ целиот свет. Циркулациониот систем на течен азот VJ на HL криогена опрема (HL Cryo) и MBE опрема на повеќе модели на DCA имаат искуство со појавување во многу проекти, како што се моделот P600, R450, SGC800 итн.

Табела за перформанси
Институт за техничка физика во Шангај, Кинеска академија на науките |
11 -ти Институт за технологија за технологија за електроника во Кина |
Институт за полупроводници, Кинеска академија на науките |
Huawei |
Академија Алибаба Дамо |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Фотоника на Сузау Евербрајт |
Време на објавување: мај-26-2021 година