Технологија
Молекуларната зрачна епитаксија, или MBE, е нова техника за одгледување висококвалитетни тенки филмови од кристали на кристални подлоги. Во услови на ултра висок вакуум, печката за греење е опремена со сите видови потребни компоненти и генерира пареа, низ дупките формирани по колимирачкиот зрак, атомски или молекуларен зрак, директно вбризгувана на соодветната температура на монокристалната подлога, контролирајќи го молекуларниот зрак до подлогата скенирајќи во исто време, може да предизвика молекулите или атомите во слоевите на кристално усогласување да формираат тенок филм на подлогата.
За нормално функционирање на MBE опремата, потребен е течен азот со висока чистота, низок притисок и ултрачист, континуирано и стабилно транспортирање до ладилната комора на опремата. Општо земено, резервоарот што обезбедува течен азот има излезен притисок помеѓу 0,3 MPa и 0,8 MPa. Течниот азот на -196℃ лесно се претвора во азот за време на транспортот преку цевковод. Откако течниот азот со однос гас-течност од околу 1:700 ќе се гасифицира во цевководот, тој ќе зафати голема количина на простор за проток на течен азот и ќе го намали нормалниот проток на крајот од цевководот за течен азот. Покрај тоа, во резервоарот за складирање на течен азот, веројатно ќе има остатоци што не се исчистени. Во цевководот за течен азот, постоењето на влажен воздух, исто така, ќе доведе до создавање на згура од мраз. Ако овие нечистотии се испуштат во опремата, тоа ќе предизвика непредвидлива штета на опремата.
Затоа, течниот азот во надворешниот резервоар за складирање се транспортира до опремата MBE во работилницата без прашина со висока ефикасност, стабилност и чистота, а низок притисок, без азот, без нечистотии, 24 часа непрекинато, таков систем за контрола на транспортот е квалификуван производ.



Соодветна MBE опрема
Од 2005 година, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) го оптимизира и подобрува овој систем и соработува со меѓународни производители на MBE опрема. Производителите на MBE опрема, вклучувајќи ги DCA и REBER, имаат односи на соработка со нашата компанија. Производителите на MBE опрема, вклучувајќи ги DCA и REBER, соработувале во голем број проекти.
Riber SA е водечки глобален снабдувач на производи за молекуларна зрачна епитаксија (MBE) и сродни услуги за истражување на соединенија на полупроводници и индустриски апликации. Уредот Riber MBE може да таложи многу тенки слоеви на материјал на подлогата, со многу високи контроли. Вакуумската опрема на HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) е опремена со Riber SA. Најголемата опрема е Riber 6000, а најмалата е Compact 21. Таа е во добра состојба и е препознаена од клиентите.
DCA е водечкиот светски оксиден MBE. Од 1993 година, се спроведува систематски развој на техники на оксидација, загревање на антиоксидантни супстрати и антиоксидантни извори. Поради оваа причина, многу водечки лаборатории ја избраа DCA оксидната технологија. Композитни полупроводнички MBE системи се користат низ целиот свет. Системот за циркулација на течен азот VJ на HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) и MBE опремата на повеќе модели на DCA имаат исто искуство во многу проекти, како што се моделите P600, R450, SGC800 итн.

Табела за перформанси
Шангајски институт за техничка физика, Кинеска академија на науките |
11-тиот Институт на Кинеската корпорација за електронска технологија |
Институт за полупроводници, Кинеска академија на науките |
Хуавеи |
Академија „Алибаба ДАМО“ |
Пауертек Технолоџи Инк. |
Делта Електроникс Инк. |
Сужоу Евербрајт Фотоникс |
Време на објавување: 26 мај 2021