Дури и мали промени во температурата, притисокот или чистотата можат да влијаат на приносот во производството на полупроводници. Ние го дизајнираме секој криогенски систем за пренос во HL Cryogenics за да обезбедиме конзистентни термички перформанси и целосна чистота. Ова е особено важно за критични алатки како што се бакрорез, литографија и системи за ладење на плочки.
Полупроводничките постројки во Источна Азија имаат потреба од нешто различно од општите индустриски апликации за гас:
Многу ниски вибрации и промени во притисокот
Нема ризик од контаминација
Работи цело време, 24 часа на ден, 7 дена во неделата
Ова го прави дизајнот на системот многу построг отколку што е за повеќето инфраструктури за течен природен гас или индустриски гасни постројки на големо.
Типичен систем се состои од:
- Мини резервоарили складирање на големо како извор на криоген
- Главна дистрибуција прекуВакуумски изолирана цевка
- Флексибилни врски користејќиФлексибилно црево со вакуумска изолација
- Контролни компоненти како што сеВакуумски изолиран вентил
- Управување со фази прекуВакуумски изолиран фазен сепаратор
Секоја компонента мора да биде проектирана како дел од целосно интегриран систем за да се обезбеди стабилно работење.
Содржина
1. Принцип на инженерство: Намалување на истекување на топлина
2. Стабилност на вакуум и долгорочни перформанси
3. Дизајн на притисок и стабилност на проток
4. Усогласеност со меѓународните стандарди
●Принцип на инженерство: Намалување на истекување на топлина
Главната цел на секој систем со течен азот е да спречи влегување на топлината. Топлината се движи низ:
Спроводливост низ потпори и материјали за цевки
Зрачење помеѓу ѕидовите на внатрешните и надворешните цевки
Конвекција на гас што останува во вакуумскиот простор
НашетоВакуумски изолирана цевкаСистемите во HL Cryogenics се направени да создаваат многу високи нивоа на вакуум (10⁻⁴ до 10⁻⁶ mbar), што значително ги забавува овие начини на пренесување на топлина.
Крајниот резултат е:
Пониски стапки на вриење
Стабилни нивоа на притисок
Подобра ефикасност за целиот систем
Вентил со вакуумска изолација
НаВакуумски изолиран вентилсе осигурува дека:
Малку топлина влегува во контролните точки
Сигурно одвојување во многу ладни услови
Долг век на траење со помалку одржување
За време на циклусите на работа и одржување, овие вентили се неопходни за да се одржи системот во добра состојба.
●Стабилност на вакуум и долгорочни перформанси
Со комбинирање на нашитеДинамички систем на вакуумска пумпа, Вакуумски изолиран вентил, иФазен сепаратор, ви нудиме систем кој ефикасно го движи течниот хелиум и ги намалува трошоците.Мини резервоариФлексибилни цреваДозволете ни прецизно да се справуваме со мобилни и фиксни задачи.
Одржувањето на вакуум со текот на времето е голем проблем за криогените системи. Микропротекувањата и испуштањето на материјал предизвикуваат дефект на традиционалните статички вакуумски системи.
НашетоДинамички систем на вакуумска пумпаго поправа ова со:
Секогаш следете ги нивоата на вакуум
Редовно враќање на вакуумските услови
Спречување на влошување на перформансите
Ова осигурува дека вакуумската изолација работи на ист начин во подолги временски периоди, што е важно за полупроводничките фабрики на кои им е потребна сигурност без да се исклучуваат со години.
Фазен сепараторсо вакуумска изолација
Вакуумски изолиранФазен сепараторе многу важно за:
Добивање пареа од течен азот
Спречување на гасот да стигне до чувствителна опрема
Одржување на стабилен притисок и температура низводно
Ова е особено важно за полупроводничките алатки, каде што дури и малите меурчиња од гас можат да ги нарушат процесите.
Флексибилно цревосо вакуумска изолација
Вакуумски изолиранФлексибилно цревови дава:
Механичка флексибилност за поврзување на опрема
Изолирачки вибрации
Зачувани изолациски перформанси
Правилно дизајнираните криогени системи на црева спречуваат оптоварување на цврстите цевки и ги прават посигурни во услови на висока прецизност.
●Дизајн на притисок и стабилност на проток, избор на материјал и чистота
За полупроводнички апликации, одржувањето на стабилен притисок е исто толку важно како и одржувањето на стабилна температура. Некои вообичаени системски параметри се:
Работен притисок: 6–10 бари
Притисок за дизајн: 16 до 25 бари
Услови на проток: многу различни во зависност од тоа колку е потребна алатката
Промените во притисокот можат да доведат до:
Фазна нестабилност (промена од течност во гас)
Неконзистентност во процесот
Опремата не работи
За да го поправиме ова, внимателно ја димензионираме криогената мрежа на цевки и додавамеВакуумски изолиран фазен сепараторединици за одржување на стабилен проток и испорака на течна фаза.
Изборот на вистинските материјали е многу важен и за перформансите и за одржувањето на чистотата. Обично користиме:
Внатрешни цевки направени од не'рѓосувачки челик (на пример, SS304/316L)
Материјали со ниска топлинска спроводливост за потпори
Повеќеслојна изолација (MLI) со висока рефлективност
Сите HL Cryogenics системи минуваат низ строги процеси на чистење за да ги исполнат стандардите за чистота на полупроводнички квалитет, со што се елиминира ризикот од контаминација со честички.
●Усогласеност со меѓународните стандарди
За да обезбедиме глобално прифаќање и доверба во набавките, ние дизајнираме системи во согласност со:
- ASMEБ31.3
- ДИН ЕН 13480
- ISO стандарди за криогена опрема
Ова е особено важно за проекти во:
- Полупроводнички објекти во Источна Азија
- Индустриски гасни постројки во Европа
- Хај-технолошки производствени центри во Југоисточна Азија
За време на нашата последна работа во Тајван за производител на електроника, инсталиравме систем за течен азот во целосен размер со примена наВакуумски изолирана цевка, Флексибилно црево со вакуумска изолација,иДинамички систем на вакуумска пумпа.
Главните проблеми што требаше да се решат беа следниве:
Далечен пат за снабдување (долг >500 метри)
Потреба за стабилен притисок (во рамките на отстапување од ±0,2 бари)
Непрекинато работење
Резултатите доставени преку нашиот систем:
Намалување на загубите на топлина од повеќе од 95% во споредба со традиционалните цевководи
Течен тек без промена на фазата
Континуирано работење 18 месеци со одржувани услови на вакуум
●Најчесто поставувани прашања
Од 1992 година, HL Cryogenics е специјализирана за дизајнирање и производство на високовакуумски изолирани криогени цевководни системи и сродна помошна опрема, прилагодени за да ги задоволат разновидните потреби на клиентите. Имаме сертификати ASME, CE и ISO 9001 и сме обезбедиле производи и услуги за многу познати меѓународни претпријатија. Нашиот тим е искрен, одговорен и посветен на совршенство во секој проект што го преземаме.
Цевка со вакуумска изолација/обвиткана со јакна
Флексибилно црево со вакуумска изолација/обвиткано со јакна
Фазен сепаратор / вентил за пареа
Вакуумски изолиран (пневматски) вентил за исклучување
Вакуумски изолиран вентил за проверка
Вакуумски изолиран регулациски вентил
Вакуумски изолирани конектори за ладни кутии и контејнери
MBE системи за ладење со течен азот
Друга криогена опрема за поддршка поврзана со VI цевководи — вклучувајќи, но не ограничувајќи се на групи на безбедносни вентили за ослободување, мерачи на ниво на течност, термометри, манометри за притисок, вакуумски мерачи и електрични контролни кутии.
Со задоволство прифаќаме нарачки од секаков обем — од единечни единици до големи проекти.
Вакуумски изолираната цевка (VIP) на HL Cryogenics е произведена во согласност со ASME B31.3 Кодексот за цевки под притисок како наш стандард.
HL Cryogenics е специјализиран производител на вакуумска опрема, кој ги набавува сите суровини исклучиво од квалификувани добавувачи. Можеме да набавиме материјали што ги исполнуваат специфичните стандарди и барања, по барање на клиентите. Нашиот типичен избор на материјали вклучува ASTM/ASME 300 не'рѓосувачки челик со површински третмани како што се кисело маринирање, механичко полирање, светло жарење и електрополирање.
Големината и проектниот притисок на внатрешната цевка се одредуваат според барањата на клиентот. Големината на надворешната цевка ги следи стандардните спецификации на HL Cryogenics, освен ако клиентот не наведе поинаку.
Во споредба со конвенционалната изолација на цевките, статичкиот вакуумски систем обезбедува супериорна топлинска изолација, намалувајќи ги загубите од гасификација за клиентите. Исто така, е поекономичен од динамичкиот VI систем, намалувајќи ја почетната инвестиција потребна за проектите.
●Поврзани објави
Време на објавување: 13 април 2026 година
