Системите за ладење со течен азот се широко користени во индустријата за полупроводници и чипови, вклучувајќи го и процесот на,
- Технологијата на молекуларна зрачна епитаксија (MBE)
- Тестот на чипот по COB пакетот
Поврзани производи
Серија цевки со вакуумска изолација
Серија флексибилни црева со вакуумска изолација
Динамички систем на вакуумска пумпа
Серија фазни сепаратори со вакуумска изолација
Серија вентили со вакуумска изолација
Опрема за поддршка на цевководниот систем
МОЛЕКУЛАРНА ЗРАЧНА ЕПИТАКСИЈА
Технологијата на молекуларна зрачна епитаксија (MBE) беше развиена во 1950-тите за подготовка на полупроводнички тенки филмски материјали со употреба на технологија на вакуумско испарување. Со развојот на технологијата со ултра висок вакуум, примената на технологијата е проширена и во областа на полупроводничката наука.
HL ја забележа побарувачката на MBE систем за ладење со течен азот, организираше техничка основа за успешно развивање на специјален MBE систем за ладење со течен азот за MBE технологија и комплетен сет на вакуумски изолиран систем на цевки, кој се користи во многу претпријатија, универзитети и истражувачки институти.
Честите проблеми на индустријата за полупроводници и чипови вклучуваат,
- Притисок на течен азот во терминалната (MBE) опрема. Спречете преоптоварување со притисок кое ќе ја оштети терминалната (MBE) опрема.
- Повеќекратни контроли за влез и излез на криогена течност
- Температурата на течен азот во терминалната опрема
- Разумна количина на емисии на криогени гасови
- (Автоматско) префрлување на главни и филијални линии
- Прилагодување (намалување) на притисокот и стабилност на VIP
- Чистење на можните нечистотии и остатоци од мраз од резервоарот
- Време на полнење на опремата за терминална течност
- Предладење на цевководот
- Отпорност на течности во VIP системот
- Контрола на губењето на течен азот за време на дисконтинуирано работење на системот
Вакуумски изолираната цевка (VIP) на HL е изработена според стандардот ASME B31.3 за цевки под притисок. Инженерско искуство и способност за контрола на квалитетот обезбедуваат ефикасност и економичност на постројката на клиентот.
РЕШЕНИЈА
HL Cryogenic Equipment им обезбедува на клиентите систем за цевки со вакуумска изолација за да ги исполни барањата и условите на индустријата за полупроводници и чипови:
1. Систем за управување со квалитет: ASME B31.3 Код за цевки под притисок.
2. Специјален фазен сепаратор со повеќекратен криогенски влез и излез на течности со функција за автоматска контрола ги исполнува барањата за емисија на гас, рециклиран течен азот и температура на течен азот.
3. Соодветниот и навремен дизајн на издувните гасови гарантира дека терминалната опрема секогаш работи во рамките на дизајнираната вредност на притисокот.
4. Гас-течната бариера се поставува во вертикалната VI цевка на крајот од VI цевководот. Гас-течната бариера го користи принципот на гасно заптивање за да ја блокира топлината од крајот на VI цевководот во VI цевководот и ефикасно да го намали губењето на течен азот за време на дисконтинуирано и повремено работење на системот.
5.VI Цевковод контролиран од серијата вакуумски изолирани вентили (VIV): Вклучувајќи вакуумски изолиран (пневматски) вентил за исклучување, вакуумски изолиран неповратен вентил, вакуумски изолиран регулаторен вентил итн. Различни типови на VIV можат да бидат модуларни комбинирани за контрола на VIP по потреба. VIV е интегриран со VIP префабрикација кај производителот, без третман со изолација на лице место. Единицата за заптивање на VIV може лесно да се замени. (HL ја прифаќа марката на криогени вентили назначена од клиентите, а потоа произведува вакуумски изолирани вентили од HL. Некои марки и модели на вентили можеби нема да можат да се претворат во вакуумски изолирани вентили.)
6. Чистота, доколку постојат дополнителни барања за чистота на површината на внатрешната цевка. Се препорачува клиентите да изберат цевки од не'рѓосувачки челик BA или EP како внатрешни цевки VIP за дополнително намалување на истурањето од не'рѓосувачки челик.
7. Вакуумски изолиран филтер: Исчистете ги можните нечистотии и остатоци од мраз од резервоарот.
8. По неколкудневно или подолго исклучување или одржување, многу е потребно претходно да се изладат VI цевките и терминалната опрема пред да се влезе криогената течност, за да се избегне мразна згура откако криогената течност директно ќе влезе во VI цевките и терминалната опрема. Функцијата за претходно ладење треба да се земе предвид при дизајнирањето. Таа обезбедува подобра заштита за терминалната опрема и помошната опрема на VI цевките, како што се вентилите.
9. Одговара и за динамички и за статички вакуумски изолиран (флексибилен) цевководен систем.
10. Динамички вакуумски изолиран (флексибилен) систем на цевки: Се состои од VI флексибилни црева и/или VI цевки, црева за спојување, систем на вентили со вакуумска изолација, фазни сепаратори и систем на динамички вакуумски пумпи (вклучувајќи вакуум пумпи, соленоидни вентили и вакуумски мерачи итн.). Должината на единечното VI флексибилно црево може да се прилагоди според барањата на корисникот.
11. Различни типови на поврзување: Може да се избере тип на вакуумско бајонетско поврзување (VBC) и заварено поврзување. Типот VBC не бара изолиран третман на лице место.
