Системите за ладење на течен азот се користат во индустријата за полупроводници и чипови, вклучувајќи го и процесот на,
- Технологијата на епитаксијата на молекуларен зрак (МБЕ)
- Тестот на чипот по пакетот COB
Поврзани производи
Вакуум изолирана серија на цевки
Вакуум изолирани флексибилни серии на црева
Динамички систем на вакуумска пумпа
Серија за сепаратор на изолирани фази на вакуум
Серија на вакуум изолирани вентили
Опрема за поддршка на системот за цевки
Молекуларна зрак епитаксија
Технологијата на епитаксијата на молекуларен зрак (МБЕ) беше развиена во 1950 -тите за да се подготват материјали за тенки филмови со полупроводници со употреба на вакуумска технологија за испарување. Со развојот на ултра-висока вакуумска технологија, примената на технологијата е проширена на областа на полупроводничка наука.
HL ја забележа побарувачката на системот за ладење со течен азот на MBE, организиран технички 'рбет за успешно развивање на специјален систем за течен азот на MBE за технологија MBE и комплетен сет на вакуум изолиран систем за цевки, кој се користи во многу претпријатија, универзитети и истражувачки институти .
Заедничките проблеми на индустријата за полупроводници и чипови вклучуваат,
- Притисокот на течен азот во терминална (MBE) опрема. Спречете го преоптоварувањето на притисокот од оштетување на терминалот (MBE) опрема.
- Повеќекратни криогени течни влезни и излезни контроли
- Температурата на течен азот во терминална опрема
- Разумна количина на емисија на криогени гас
- (Автоматско) префрлување на главните и гранките линии
- Прилагодување на притисокот (намалување) и стабилност на ВИП
- Чистење на можните нечистотии и остатоци од мраз од резервоарот
- Време на полнење на терминалната течна опрема
- Прекинување на гасоводот
- Отпорност на течност во ВИП систем
- Контролна загуба на течен азот за време на дисконтинуирана услуга на системот
Вакуумската изолирана цевка на HL (ВИП) е изградена на кодот за цевки за притисок ASME B31.3 како стандард. Инженерско искуство и способност за контрола на квалитетот да се обезбеди ефикасност и економичност на фабриката на клиентот.
Решенија
Криогената опрема HL им овозможува на клиентите систем со вакуум изолиран цевководи за да ги исполнат барањата и условите на индустријата за полупроводници и чипови:
1. Систем за управување со квалитет: ASME B31.3 Код за цевки за притисок.
2.А специјален фазен сепаратор со повеќе криогени течни влезни и излезни со автоматска функција за контрола го исполнува барањето на емисија на гас, рециклиран течен азот и температура на течен азот.
3. Создадениот и навремен дизајн на издувните гасови гарантира дека терминалната опрема секогаш работи во рамките на дизајнираната вредност на притисок.
4. Гас-тековната бариера се става во вертикалната VI цевка на крајот на VI гасоводот. Гас-течноста бариера го користи принципот на заптивка на гас за да ја блокира топлината од крајот на VI цевководот во цевководот VI и ефикасно да го намали загубата на течен азот за време на дисконтинуирана и наизменична услуга на системот.
. Задолжително. VIV е интегриран со VIP префабрикувања кај производителот, без изолиран третман на лице место. Единицата за заптивка на VIV може лесно да се замени. (HL ја прифаќа брендот на криогениот вентил назначен од клиентите, а потоа прави вакуум изолирани вентили од HL. Некои брендови и модели на вентили можеби нема да можат да се направат во вакуум изолирани вентили.)
6. Состојност, доколку има дополнителни барања за чистота на површината на внатрешната цевка. Се сугерира дека клиентите избираат цевки од не'рѓосувачки челик БА или ЕП како ВИП внатрешни цевки за понатамошно намалување на истурање од не'рѓосувачки челик.
7.vacuum изолиран филтер: Исчистете ги можните нечистотии и остатоци од мраз од резервоарот.
8. После неколку дена или подолго исклучување или одржување, многу е неопходно да се пренесе VI цевководот и терминалната опрема пред да се внесе криогената течност, за да се избегне мраз згура по криогената течност директно да влезе во цевководи и терминална опрема. Функцијата за преовладување треба да се земе предвид во дизајнот. Овозможува подобра заштита за терминална опрема и опрема за поддршка на цевки VI, како што се вентили.
9.Сит и за динамичен и за статички вакуум изолиран (флексибилен) систем за цевки.
10.Динамички вакуум изолиран (флексибилен) систем за цевки: се состои од VI флексибилни црева и/или VI цевка, скокачки црева, систем на вакуум изолиран вентил, фази на фази и динамичен систем на вакуумска пумпа (вклучувајќи ги и вакуумските пумпи, соленоидните вентили и вакуумските мерачи итн. ). Должината на едно флексибилно црево VI може да се прилагоди според барањата на корисникот.
11. ВИСТИНСКИ ВИДОВИ ВИДОВИ: Може да се избере вакуумска бајонетска врска (VBC) тип и заварена врска. На типот VBC не им треба изолиран третман на лице место.
