Молекуларна зрачна епитаксија и систем за циркулација на течен азот во полупроводничката и чип индустрија

Краток преглед на молекуларно зрачна епитаксија (MBE)

Технологијата на молекуларна зрачна епитаксија (MBE) беше развиена во 1950-тите за подготовка на полупроводнички тенки филмски материјали со употреба на технологија на вакуумско испарување. Со развојот на технологијата со ултра висок вакуум, примената на технологијата е проширена и во областа на полупроводничката наука.

Мотивацијата за истражување на полупроводнички материјали е побарувачката за нови уреди, кои можат да ги подобрат перформансите на системот. За возврат, новата технологија на материјали може да произведе нова опрема и нова технологија. Молекуларната зрачна епитаксија (MBE) е технологија со висок вакуум за раст на епитаксијален слој (обично полупроводнички). Таа го користи топлинскиот зрак на изворните атоми или молекули што влијаат на монокристалната подлога. Ултра-високите вакуумски карактеристики на процесот овозможуваат метализација in-situ и раст на изолациски материјали на новоизраснати полупроводнички површини, што резултира со интерфејси без загадување.

вести бг (4)
вести бг (3)

MBE технологија

Молекуларната зрачна епитаксија беше спроведена во висок вакуум или ултра-висок вакуум (1 x 10-8Pa) средина. Најважниот аспект на молекуларната зрачна епитаксија е нејзината ниска стапка на таложење, што обично му овозможува на филмот епитаксијално да расте со брзина помала од 3000 nm на час. Ваквата ниска стапка на таложење бара доволно висок вакуум за да се постигне исто ниво на чистота како и другите методи на таложење.

За да се задоволи ултра-високиот вакуум опишан погоре, MBE уредот (Кнудсенова ќелија) има слој за ладење, а ултра-високата вакуумска средина на комората за раст мора да се одржува со помош на систем за циркулација на течен азот. Течниот азот ја лади внатрешната температура на уредот на 77 Келвини (−196 °C). Ниската температура може дополнително да ја намали содржината на нечистотии во вакуумот и да обезбеди подобри услови за таложење на тенки филмови. Затоа, потребен е наменски систем за циркулација на ладење со течен азот за MBE опремата за да обезбеди континуирано и стабилно снабдување со течен азот од -196 °C.

Систем за циркулација на ладење со течен азот

Системот за циркулација на вакуумско ладење со течен азот главно вклучува,

● криогенски резервоар

● главна и гранка со вакуумска обвивка / вакуумско црево

● Специјален фазен сепаратор на MBE и издувна цевка со вакуумска обвивка

● разни вентили со вакуумска обвивка

● гасно-течна бариера

● филтер со вакуумска обвивка

● динамичен систем на вакуумска пумпа

● Систем за претходно ладење и повторно загревање со прочистување

Компанијата HL Cryogenic Equipment ја забележа побарувачката за MBE систем за ладење со течен азот, организираше техничка основа за успешно развивање на специјален MBE систем за ладење со течен азот за MBE технологијата и комплетен сет на вакуумски изолатори.edцевководен систем, кој се користи во многу претпријатија, универзитети и истражувачки институти.

вести бг (1)
вести бг (2)

HL криогена опрема

HL Cryogenic Equipment, основана во 1992 година, е бренд поврзан со компанијата Chengdu Holy Cryogenic Equipment во Кина. HL Cryogenic Equipment е посветена на дизајнирање и производство на криогенски цевководен систем со висока вакуумска изолација и сродна помошна опрема.

За повеќе информации, посетете ја официјалната веб-страницаwww.hlcryo.com, или испратете е-пошта доinfo@cdholy.com.


Време на објавување: 06.05.2021

Оставете ја вашата порака